測量精度: 1.8um起


特性：

加厚的臺面設計為中型工件提供了可靠的測量支撐。

Y向導軌采用燕尾式結構，定位精度高，穩定性能好。

系列化的規格尺寸設計，為用戶提供不同大小工件的測量需求。

Z軸先進的氣動平衡技術，極大的提高了Z軸的定位精度及穩定性。

雷尼紹插槽式光柵RTLC系列測量位置反饋系統。

配置先進的實時溫度補償系統，高了產品溫度適用范圍。

多種豐富的測量配置可完成復雜的測量需求。

可提供多種測量應用配置方案。

標準規格: 121510、 122210、 123010、152212、153012、152014、 152614、 153314




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