從測量原理上說，三坐標測量機直接測得的是被測工件上一些特征點的坐標位置，需要通過軟件運算才能獲得被測參數的值，因此被測參數的測量精度主要與下列因素有關：

① 測量機的系統誤差

②測頭系統誤差

③工件形狀誤差

④算法計算誤差

⑤ 環境因素的影響

采點方法：

采樣方法研究的如何在物體表面進行采點，采集多少點較為合理，且使檢測誤差達到較小。所謂合理是指在同一臺測量機上，在相同的環境下，測量同一個零件，怎樣安排測量點的位置和測量點數，可以獲得較高的測量精度，且耗費的時間比較經濟。

①采樣點數和采樣位置影響測量結果；

②測量元素非理想元素，有形狀誤差；

③測量機采點及計算方法的局限性，存在測量誤差。